top of page

​반도체 관련 논문 작성 과정

■  과정 특징

​

  • 팀 (3명 기준) 기반의 프로젝트 활동 -> 팀 단위 신청

  • 팀 단위의 주제 선정 및 공정 실험 진행

  • 반도체 관련 논문 작성 활동을 지원 (국내 학술대회 및 삼성 휴먼테크 논문상 등)

​

■ 활동 기간

​​

  • 클린룸 이용 시간은 교육원과 협의하여 진행

  • ​(평일) 오전 9시~오후 6시

​

■ 지원 자격

​

  • 대학생 및 취준생

  • 반도체 공정 및 소자의 원리에 대한 기본 지식을 갖춘 자

  • 논문 과정 시작전 주제 관련 SPTA 공정 실습 수료 필요

​

■ 본 교육원의 지원 사항

​

  • 주제 선정에 대한 가이드 제시

  • 클린룸 및 공정 장비 지원 (협의 필요)

  • 실험 결과에 대한 피드백

 

■ 참가비 : 1인 100만

 

  • 클린룸 장비 사용료 포함 ( 공정 실험 종류에 따라 재료비 등은 추가될 수 있습니다. )

  • 본 교육원의 공정 실습 과정 (공정 실습 / 소자제작 ) 수료자 참가비 40만원 할인

 

■ 과정 신청

​

  • 초기 상담 후 주제 선정이 완료되면 참가비 납부

​논문 투고 현황

3

주       제

등재기관

논문번호

진행상황

Active Learning 기반 Gaussian Process Regression을 이용한 포토리소그래피 공정의 다중 패턴 CD 최적화

대한전자공학회

일2026-0105SD
2026.07.28 접수완료
2026.08.19 최종심사 완료 – 심사 통과, 최종본 제출 예정
2026.09.02 (2026)년 (11)월 호 게재 예정

2

주       제

등재기관

논문번호

진행상황

포토리소그래피와 식각 공정에서의 Critical Dimension 제어: 통계적 분석 및 Gaussian Process Regression 기반 최적화

대한전자공학회

일2025-0037SD
2025.03.31 접수완료
2025.10.26 최종심사 완료 – 심사 통과, 최종본 제출 예정
2025.11.25 (2025)년 (12)월 호 게재 예정
2025.12.25 전자공학회 논문지 제62권 12호 발행 – [반도체 소자 및 재료]

1

주       제

등재기관

논문번호

진행상황

포토리소그래피 공정의 성능 향상을 위한 머신 러닝 기반 최적화 기법과 DOE의 비교 분석

대한전자공학회

일2025-0033SD
2025.03.28 접수완료
2025.11.14 (2026)년 (01)월 호 게재 예정
2026.01.25 전자공학회 논문제 제63권 1호 발행 - [반도체 소자 및 재료]
bottom of page